激光塵埃粒子計數器在無塵車間的使用

瀏覽次數：1652發布日期：2020-07-17

　　激光塵埃粒子計數器是新一代觸摸屏便攜式塵埃粒子計數器，儀器采用彩色觸摸屏，外形美觀大氣，機身采用鋁合金材料，表面噴細砂銀灰色處理，小巧輕便；采用直流氣泵，連續工作穩定，超低噪音，節能環保；內置進口數字流量傳感器，采樣流量動態準確控制；供電可使用交流供電，也可使用內置的大容量鋰電池供電，方便應用于無交流電場所的移動檢測。儀器是目前藥廠，電子廠快速檢測潔凈室潔凈度的首要之選，其主要應用范圍包括：

　　潔凈室（區）潔凈度的測試；

　　電子廠、藥廠潔凈室的日常維護監測；

　　高濃度氣溶膠的測量；

　　空氣中懸浮粒子的測量。

　　集成電路制造業是需要在一個超凈環境中進行的，它是使用超純材料進行超精細加工的行業。集成電路制造對潔凈室環境的控制有嚴格的要求，不同的工藝對清潔度有不同的要求。

　　半導體集成電路在生產過程中會接觸到很多污染物，比如無機離子、有機物質、微生物、氣體雜質等等。另外，不適當的溫度、濕度、光照、靜電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。當顆粒雜質、無機離子、有機物質、微生物和氣體雜質的含量超過一定限度時，集成電路產品會出現表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現象。導致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導致電路報廢。

　　鑒于此需要使用激光塵埃粒子計數器來對半導體集成電路生產車間的環境進行監測，保證產品生產環境達到潔凈標準，塵埃粒子計數器配置簡單，可從一個儀器轉移到另一個儀器，易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱，多功能安裝選項，無縫集成到設備監控系統。

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